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超纯气流微粒直通一体式过滤器

简要描述:工艺气体专用过滤器,专为半导体制程中真空腔体快速放气应用进行设计。结合了扩散器的气体流动特性和高效过滤器的颗粒拦截特性,扩散器专用过滤器过滤精度可达0.003μm。全316L不锈钢结构,不仅确保高效过滤,更巧妙的规避了湍流产生,对工艺室环境造成影响,有效防止气流吹起颗粒或者吹起硅片。可定制化设计,灵活适应各类安装空间。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-11-11
  • 访  问  量:127

详细介绍


用于半导体应用的高纯半导体工艺气体过滤器

产品介绍

工艺气体专用过滤器,专为半导体制程中真空腔体快速放气应用进行设计。结合了扩散器的气体流动特性和高效过滤器的颗粒拦截特性,扩散器专用过滤器过滤精度可达0.003μm。全316L不锈钢结构,不仅确保高效过滤,更巧妙的规避了湍流产生,对工艺室环境造成影响,有效防止气流吹起颗粒或者吹起硅片。可定制化设计,灵活适应各类安装空间。

产品特点

不锈钢粉末烧结介质,可快速排气

整体316L不锈钢结构

减少工艺腔体排气时的湍流

适用于多种工艺气体

洁净室环境内制造、测试、包装

100%完整性测试通过

100%氦气泄露检测通过

耐高温、耐高压、耐腐蚀

防止微粒混入,帮助提高产品合格率

可根据安装空间进行设计






















超纯气流微粒直通一体式过滤器















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